产品描述

科学实验用小型真空镀膜机，适用于材料、物理、电子、能源、机械等学科领域的科学研究与技术开发，主要用于功能薄膜材料与器件的制备以及材料的表面处理。产品种类主要包括磁控溅射实验设备、真空蒸镀实验设备以及手套箱集成真空镀膜设备。

产品优点：

实验用真空镀膜机具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、易维护的特点。可实现全自动控制或手动控制、操作简单可靠，可自动完成各种镀膜工艺参数。

薄膜性能稳定、镀层附着力好，镀层细腻致密，表面光洁度高，且均匀性一致性良好。

基底和薄膜材料选择广泛、可沉积多层膜，可沉积金属、陶瓷、有机类薄膜材料。

可将磁控溅射技术和真空蒸发技术结合在同一镀膜设备里，既利用磁控溅射阴极辉光放电将靶材原子溅出并部分离化沉积在基材上成膜，同时又可利用在真空中以电阻加热将金属镀料熔融并让其汽化再沉积在基材上成膜，增加了设备的用途和灵活性。

可将真空镀膜机与惰性气氛手套箱集成，整个镀膜工艺、及后续的器件制备与封装都在真空与惰性气氛下进行，适用于对水氧敏感的有机半导体材料及钙钛矿材料的制备。

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